X射線熒光光譜分析在20世紀80年代初已是一種成熟的分析方法，是實驗室、現(xiàn)場分析主、次量和痕量元素的首選方法之一。X射線熒光光譜儀（XRF）是利用原級X射線或其他光子源激發(fā)待測物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光（次級X射線）,從而進行物質(zhì)成分分析的儀器。X射線熒光光譜儀又稱XRF光譜儀，有波長色散型和能量色散型兩種，適用于測定鈹 (Be)以上的化學元素的含量。它的優(yōu)點是不破壞樣品，分析速度快，分析精度高，樣品制備簡單。X射線熒光光譜儀還可以用于微區(qū)分析及確定分層和涂層的厚度和成分。

X-射線與物質(zhì)的交換

XRF熒光光譜儀是可以對任何種類的樣品進行元素分析的最好分析技術(shù)，無論分析的樣品是液體、固體、漿料還是粉末。 它是一種可靠的技術(shù)，結(jié)合了高精度和準確性以及簡便、快速的樣品制備等優(yōu)點?？梢栽谝髮崿F(xiàn)高處理量的工業(yè)環(huán)境下自動完成使用準備，并且提供定性和定量的樣品相關(guān)信息。

XRF熒光譜儀系統(tǒng)通常分為兩大類：波長色散型(WDXRF) 和能量色散型(EDXRF)。

EDXRF熒光光譜儀，一般由光源（X-線管）、樣品室及檢測系統(tǒng)等組成，與波長色散型熒光光儀的區(qū)別在于他不用分光晶體及精密運動裝置（測角儀）。

EDXRF 光譜儀的特點：

• 儀器結(jié)構(gòu)簡單小巧，省略了精密運動裝置
• 沒有分光晶體
• X射線管功率低（一般＜50W）
• 無需昂貴的高壓發(fā)生器和冷卻系統(tǒng)（空氣冷卻即可）
• 可同時執(zhí)行元素分析

優(yōu)點在于X射線利用率高，可同時檢測多元素，價格低；

缺點是靈敏度低、分辨率低、檢出限高（相對于WDXRF）.

WDXRF一般由光源（X-射線管）、樣品室、分光晶體和檢測系統(tǒng)等組成。它可以分析從鈹 (Be) 到鈾 (U) 的各種元素，濃度范圍從100 % 到低至亞ppm 級。