CPAES (Inductively Coupled Plasma atomic emission spectrometry)電感耦合等離子體原子發(fā)射光譜儀，ICP-AES等離子體發(fā)射光譜儀是近三十年迅速發(fā)展的一種十分理想的痕量元素分析儀器.它基于物質(zhì)在高頻電磁場(chǎng)所形成的高溫等離子體中,有良好特征譜線發(fā)射,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)不同元素的測(cè)定.它具有檢出限極低、重現(xiàn)性好，分析元素多等顯著特點(diǎn)。附特殊裝置還可以實(shí)現(xiàn)更多非金屬元素的測(cè)量。

ICPOES(Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometer ) 電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀，現(xiàn)在的稱呼。因?yàn)楝F(xiàn)在icp發(fā)射光譜技術(shù)用到了越來(lái)越多的離子線，"原子發(fā)射光譜儀"已經(jīng)不是那么科學(xué)，所以現(xiàn)在都叫oes了。ICPOES可同時(shí)分析常量和痕量組分，無(wú)需繁復(fù)的雙向觀測(cè)，還能同時(shí)讀出、無(wú)任何譜線缺失的全譜直讀等離子體發(fā)射光譜儀,快速、線性范圍寬等優(yōu)點(diǎn)。

ICPMS(Inductively Coupled Plasma mass spectrometry) 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀，ICP-MS是一個(gè)以質(zhì)譜儀作為檢測(cè)器的等離子體，ICP-AES和ICP-MS的進(jìn)樣部分及等離子體是極其相似的。ICP-AES測(cè)量的是光學(xué)光譜（120nm～800nm），ICP-MS測(cè)量的是離子質(zhì)譜，提供在3～250amu范圍內(nèi)每一個(gè)原子質(zhì)量單位（amu）的信息。還可測(cè)量同位素測(cè)定。尤其是其檢出限給人極深刻的印象，其溶液的檢出限大部份為ppt級(jí)，石墨爐AAS的檢出限為亞ppb級(jí)，ICP-AES大部份元素的檢出限為1～10ppb，一些元素也可得到亞ppb級(jí)的檢出限。但由于ICP-MS的耐鹽量較差，ICP-MS的檢出限實(shí)際上會(huì)變差多達(dá)50倍，一些輕元素（如S、Ca、Fe、K、Se）在ICP-MS中有嚴(yán)重的干擾，其實(shí)際檢出限也很差。